ULVAC DA-41DK 爱发科 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 全幅140mm

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真空泵(低/中真空),真空泵(高真空),真空计,气体分析仪(工艺气体监测仪),检漏仪,高速光谱椭偏仪,晶体振荡型薄膜沉积控制器,真空阀,直流电源,直流脉冲电源,中频电源,射频电源,EB枪/EB电源,真空搬运机器人,分子间相互作用定量QCM装置,微型精密搅拌器,小型薄膜沉积设备,低温设备(CRYO),热处理/热性能评价装置。

ULVAC 爱发科主要生产:DOP系列活塞泵,GLD系列油旋片真空泵,VDN系列油旋片真空泵,PVD系列油旋片真空泵,VSN系列油旋片真空泵,NB系列罗茨泵,NRL系列干式真空泵,YM系列罗茨泵机组,Gatch真空计,选购件及真空泵油,NOC系列油净化装置,NWS系列油水分离器。
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.●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。
●排気速度(L/min)50/60Hz:40/46●到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):140×288×202●寸法(mm):140×288×202
●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa):13.3●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)●最大寸法(mm):140(W)×288(L)×202(H)

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